67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì)，可用作下游控制和隔離閥。

工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。盡管傳統(tǒng)上，工藝設(shè)計(jì)最注重氣體流入，但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化。

通常，晶圓周圍的氣流越均勻，晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn)、越同步。

這不僅適用于氣體引入階段，還適用于氣體從艙室排出階段。出口位置設(shè)計(jì)或閥門操作期間的流動路徑變化可能造成氣體分布不對稱，阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時間和不平衡對流的形式對晶圓造成負(fù)面影響。此外，兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時間延長。

解決方案是對整個流程周期的氣流設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化。67.0對稱控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。

采用流量優(yōu)化設(shè)計(jì)，還能以全新方式設(shè)計(jì)工藝室。借助其特殊的打開和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，氣流在整個開關(guān)周期中對稱分布，實(shí)現(xiàn)流量和壓力控制?！败浗佑|"隔離功能強(qiáng)化了這一點(diǎn)。67.0 對稱控制閥移動平緩，可避免任何關(guān)閉沖擊，從而減少粒子生成量。

67.0 對稱控制閥的另一優(yōu)勢是占用空間小。相較于其他解決方案，所需的安裝空間更少。

67.0 對稱控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計(jì)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了全新過程控制水平。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期，從而提高生產(chǎn)率。

67.0 對稱控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS。艙室法蘭采用專有設(shè)計(jì)。法蘭、閥板和驅(qū)動器采用彈性體密封。饋通件采用波紋管密封。閥板加熱器為選件。

67.0 對稱控制閥由兩個帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的同步線性驅(qū)動器驅(qū)動?，F(xiàn)代 32 位控制器可借助個人計(jì)算機(jī)或 PCU 通過各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進(jìn)行連接。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細(xì)監(jiān)測 67.0 對稱控制閥并調(diào)整周期性運(yùn)動。

67.0 對稱控制閥計(jì)劃在維護(hù)前，進(jìn)行200 萬次控制周期和 20 萬次隔離周期?？煽焖佥p松地完成更換密封件等維護(hù)要求。